在印制电路加工中﹐氨性蚀刻是一个较为精密和覆杂的化学反响过程,却又是一项易于停止的工作。只需工艺上达至调通，就能够停止连续性的消费, 但关键是开机以后就必需坚持连续的工作状态，不适合断断续续地消费。

蚀刻工艺对设备状态的依赖性极大，故必需时辰使设备坚持在良好的状态。

目前﹐无论运用何种蚀刻液，都必需运用高压喷淋，而为了取得较划一的侧边线条和高质量的蚀刻效果﹐对喷嘴的构造和喷淋方式的选择都必需更为严厉。

关于优秀侧面效果的制造方式﹐外界均有不同的理论、设计方式和设备构造的研讨,而这些理论却常常是人相径庭的。但是有一条最根本的准绳已被公认并经化学机理剖析证明﹐就是尽速让金属外表不时地接触新颖的蚀刻液。

在氨性蚀刻中﹐假定一切参数不变﹐那么蚀刻的速率将主要由蚀刻液中的氨(NH3)来决议。因而, 运用新颖溶液与蚀刻外表互相作用﹐其主要目的有两个﹕冲掉刚产生的铜离子及不时为停止反响供给所需求的氨(NH3)。

在印制电路工业的传统学问里﹐特别是印制电路原料的供货商们皆认同﹐并得经历证明﹐氨性蚀刻液中的一价铜离子含量越低﹐反响速度就越快。

事实上﹐许多的氨性蚀刻液产品都含有价铜离子的特殊配位基(一些复杂的溶剂)﹐其作用是降低一价铜离子(产品具有高反响才能的技术秘诀)﹐可见一价铜离子的影响是不小的。

将一价铜由5000ppm降至50ppm,蚀刻速率即进步一倍以上。

由于在蚀刻反响的过程中会生成大量的一价铜离子,而一价铜离子又总是与氨的络合基紧紧的分离在一同﹐所以要坚持其含量近于零是非常艰难的。

而 采用喷淋的方式却能够到达经过大气中氧的作用将一价铜转换成二价铜,并去除一价铜,这就是需求将空气通入蚀刻箱的一个功用性的缘由。但是假如空气太多﹐又 会加速溶液中的氨的损失而使PH值降落﹐使蚀刻速率降低。氨在溶液中的变化量也是需求加以控制的,有一些用户采用将纯氨通入蚀刻储液槽的做法,但这样做必 须加一套PH计控制系统,当自动监测的PH结果低于默许值时﹐便会自动停止溶液添加。

在 相关的化学蚀刻(亦称之为光化学蚀刻或PCH)范畴中﹐研讨工作曾经开端﹐并达至蚀刻机构造设计的阶段。此办法所运用的溶液为二价铜,不是氨-铜蚀刻, 它将有可能被用在印制电路工业中。在PCH工业中,蚀刻铜箔的典型厚度为5到10密耳(mils)，有些状况下厚度却相当大。它对蚀刻参数的请求经常比 PCB工业更为苛刻。

比 如说，与锥形喷嘴相比，采用扇形喷嘴的设计效果更佳，而且喷淋集流腔(即喷嘴拧进去的那一段管)也有一个装置角度，对进入蚀刻舱中的工件呈30度放射，若 不停止这样的改动，集流腔上喷嘴的装置方式将会招致每个相领喷嘴的放射角度都不分歧。第二组喷嘴各自的喷淋面与第一组相对应的皆略有不同(它表示了喷淋的 工作状况), 使放射出的溶液外形成为迭加或穿插的状态。理论上﹐假如溶液外形互相穿插,该局部的放射力就会降低而不能有效地将蚀刻外表上的旧溶液冲掉使新溶液与其接 触。

在喷淋面的边缘处,这种状况尤为突出,其放射力比垂直放射要小得多。这项研讨发现﹐最新的设计参数是65磅/平方英寸(即4+Bar)。

每个蚀刻过程和每种适用的溶液都有一个最佳的放射压力的问题﹐就目前而言﹐蚀刻舱内放射压力在30磅/平方英(2Bar)以上的状况微乎其微。

但有一个准绳﹐一种蚀刻溶液的密度(即比重或玻美度)越高﹐最佳的放射压力也应越高。当然,这并非单一的参数，另一个重要的参数是在溶液中控制其反响率的相对淌度(或迁移率)。

关于蚀刻状态不相同的问题

大 量触及蚀刻面的质量问题都集中在上板面被蚀刻的局部,而这些问题来自于蚀刻剂所产生的胶状板结物的影响。对这一点的理解是非常重要的, 因胶状板结物堆积在铜外表上﹐一方面会影响放射力﹐另一方面会阻档了新颖蚀刻液的补充﹐使蚀刻的速度被降低。正因胶状板结物的构成和堆积, 使得基板上下面的图形的蚀刻水平不同,先进入的基板因堆积尚未构成﹐蚀刻速度较快, 故容易被彻底地蚀刻或形成过腐蚀﹐然后进入的基板因堆积已构成﹐而减慢了蚀刻的速度。

蚀刻设备的维护

维护蚀刻设备的最关键要素就是要保证喷嘴的高清洁度及无阻塞物,使喷嘴能畅顺地放射。阻塞物或结渣会使放射时产生压力作用, 冲击板面。而喷嘴不清洁﹐则会形成蚀刻不平均而使整块电路板报废。

明 显地，设备的维护就是改换破损件和磨损件，因喷嘴同样存在着磨损的问题, 所以改换时应包括喷嘴。此外，更为关键的问题是要坚持蚀刻机没有结渣，因很多时结渣堆积过多会对蚀刻液的化学均衡产生影响。同样地，假如蚀刻液呈现化学不 均衡，结渣的状况就会愈加严重。蚀刻液忽然呈现大量结渣时，通常是一个信号，表示溶液的均衡呈现了问题， 这时应运用较强的盐酸作恰当的清洁或对溶液停止补加。

另外，残膜也会产生结渣物。极少量的残膜溶于蚀刻液中，构成铜盐沈淀。这表示前道去膜工序做得不彻底，去膜不良常常是边缘膜与过电镀共同形成的结果。

蚀刻过程中应留意的问题

1.减少侧蚀和突沿﹐进步蚀刻系数

侧 蚀会产生突沿。通常印制板在蚀刻液中的时间越长,侧蚀的状况越严重。侧蚀将严重影响印制导线的精度，严重的侧蚀将不可能制造精密导线。当侧蚀和突沿降低时 ﹐蚀刻系数就会升高﹐高蚀刻系数表示有坚持细导线的才能﹐使蚀刻后的导线能接近原图尺寸。无论是锡-铅合金﹐锡﹐锡-镍合金或镍的电镀蚀刻剂, 突沿过度时都会形成导线短路。由于突沿容易撕裂下来﹐在导线的两点之间构成电的拆接。

影响侧蚀的要素有很多﹐下面将概述几点﹕

蚀刻方式﹕

浸泡和鼓泡式蚀刻会形成较大的侧蚀﹐泼溅和喷淋式蚀刻的侧蚀较小﹐尤以喷淋蚀刻的效果最好。

蚀刻液的品种﹕

不同的蚀刻液,其化学组分不相同﹐蚀刻速率就不一样﹐蚀刻系数也不一样。

例如﹕酸性氯化铜蚀刻液的蚀刻系数通常为3﹐而碱性氯化铜蚀刻系数可到达

蚀刻速率﹕

蚀刻速率慢会形成严重侧蚀。进步蚀刻质量与加快蚀刻速率有很大的关系,蚀刻速度越快,基板在蚀刻中停留的时间越短﹐侧蚀量将越小﹐蚀刻出的图形会更明晰划一。

蚀刻液的PH值﹕

碱性蚀刻液的PH值较高时﹐侧蚀会增大。为了减少侧蚀﹐PH值普通应控制在8.5以下。

蚀刻液的密度﹕

碱性蚀刻液的密度太低会加重侧蚀﹐选用高铜浓度的蚀刻液对减少侧蚀十分有利。

铜箔厚度﹕

要到达最小侧蚀的细导线的蚀刻﹐最好采用(超)薄铜箔。而且线宽越细﹐铜箔厚度应越薄。由于,铜箔越薄在蚀刻液中的时间会越短﹐侧蚀量就越小。

2.进步基板与基板之间蚀刻速率的分歧性

在 连续的板蚀刻中﹐蚀刻速率的分歧性越高﹐越能取得蚀刻平均的板。要到达这一个请求﹐必需保证蚀刻液在蚀刻的整个过程一直坚持在最佳的蚀刻状态。这就要选择 容易再生和补偿, 而蚀刻速率又容易控制的蚀刻液,并选用能提供恒定的操作条件和能自动控制各种溶液参数的工艺和设备, 经过控制溶铜量、PH值、溶液的浓度、温度及溶液流量的平均性(喷淋系统或喷嘴,以致喷嘴的摆动)等来完成蚀刻速率的分歧性。

3.进步基板外表的蚀刻速率的平均性

基板的上下两面以及板面上各部位的蚀刻的平均性,皆决议于板外表遭到蚀刻剂流量的平均性所影响。

在蚀刻的过程中﹐上下板面的蚀刻速率常常并不分歧。普通来说﹐下板面的蚀刻速率会高于上板面。由于上板面有溶液的堆积﹐削弱了蚀刻反响的停止, 但能够经过调整上下喷嘴的喷淋压力来处理上下板面蚀刻不均的现象。

蚀 刻工艺的一个普遍问题是在相同的时间里使全部板面都蚀刻洁净是很难做到的。因基板的边缘位置比中心部位蚀刻得更快, 故很难做到同时使全部蚀刻都洁净。而采用喷淋系统并使喷嘴摆动放射是一个有效的处理措施。要更进一步地改善,能够透过对板中心和边缘处不同的喷淋压力,以 及对板前沿和板后端采用间歇蚀刻的办法﹐到达整个板面的蚀刻平均性。

4.进步平安处置和蚀苛刻铜箔及薄层压板的才能

在 蚀苛刻层板时(如:多层板的内层板),基板容易卷绕在滚轮和传送轮上而形成废品,所以蚀刻内层板的设备必需要保证能平稳地及牢靠地处置薄的层压板。现时, 许多设备制造商在蚀刻机内附加齿轮或滚轮来避免卷绕的状况,但更好的办法却是附加左右摇晃的四氟乙烯涂包线作为薄层压板传送时的支撑物。

关于薄铜箔(例如1/2或1/4盎司)的蚀刻,必需保证铜面不被擦伤或划伤。有时较猛烈的振颤都有可能损伤铜箔。

5.减少污染的问题

铜 对水的污染是印制电路消费中普遍存在的问题﹐而氨碱蚀刻液的运用愈加重了这个问题。由于铜与氨络合﹐不容易用离子交流法或碱沈淀法除去。所以﹐采用无铜的 添加液来漂洗板子(第二次喷淋操作的办法)﹐可大大地减少铜的排出量。然后﹐再用空气刀在水漂洗之前将板面上多余的溶液去除﹐从而减轻了水对铜的蚀刻的盐 类的漂洗担负。

在自动蚀刻系统中, 铜浓度是以比重来控制的。在印制板的蚀刻过程中﹐随着铜不时地被溶解﹐当溶解的比重不时升高至超越一定的数值时﹐系统便会自动补加氯化铵和氨的水溶液﹐使比重调整回适宜的范围。普通的比重应控制在18~240Be。

溶液PH值的影响

蚀 刻液的PH值应坚持在8.0~8.8之间。若PH值降落到8.0以下时,将会对金属抗蚀层不利。另一方面﹐蚀刻液中的铜不能被完整络合成铜氨络离子﹐使溶 液在槽底构成泥状沈淀, 而这些沈淀物能在加热器上结成硬皮﹐可能会损坏加热器﹐还会使泵和喷嘴遭到梗塞﹐给蚀刻形成艰难。假如溶液PH值过高﹐蚀刻液中的氨过饱和﹐游离氨便会释 放到大气之中﹐招致环境污染。再说﹐溶液的PH值增大也会增大侧蚀的水平﹐继而影响蚀刻的精度。

氯化铵含量的影响

通 过蚀刻再生的化学反响能够看出﹕﹝Cu(NH3)2﹞1+的再生需求有过量的NH3和NH4CL存在。假如溶液中缺乏NH4CL,而使大量的 ﹝Cu(NH3)2﹞1+得不到再生﹐蚀刻速率就会降低﹐以致失去蚀刻才能。所以﹐氯化铵的含量对蚀刻速率影响很大。随着蚀刻的停止﹐要不时补加氯化铵。 但是﹐溶液中CL含量过高会惹起抗蚀层被浸蚀。普通蚀刻液中NH4CL含量应在150g/L左右。

温度的影响

蚀刻速率与温度有着很大的关系, 蚀刻速率会随着温度升高而加快﹐蚀刻液温度低于40℃﹐蚀刻速率会很慢﹐而蚀刻速率过慢则会增大侧蚀量﹐影响蚀刻质量。

当温度高于60℃﹐蚀刻速率会明显地增大,但NH3的挥发量也大大地增加﹐招致环境污染并使蚀刻液中化学组份比例失调。故普通应控制在45℃~55℃为宜。

蚀刻液的调整

自动控制调整

随 着蚀刻的停止, 蚀刻液中铜的含量不时增加﹐比重亦逐步升高。当蚀刻液中铜浓度到达一定的高度时就要及时调整。在自动控制补加安装中﹐是应用比重控制器来控制蚀刻液的比 重。当比重升高时﹐会自动排放出溶液﹐并添加新的补加液﹐使蚀刻液的比重调整到允许的范围。补加液要事前配制好并放入补加桶内﹐使补加桶的液面坚持在一定 的高度。

蚀刻过程中常见的问题

蚀刻速率降低

蚀刻速率降低与许多要素有关,故需求检查蚀刻条件(例如﹕温度、喷淋压力、溶液比重、PH值和氯化铵的含量等)﹐使其到达适合的范围。

蚀刻溶液中呈现沈淀

是由于氨的含量过低(PH值降低)﹐或水稀释溶液等缘由形成的(例如:冷却系统漏水等)。溶液比重过高也会形成沉淀。

抗蚀镀层被浸蚀

是由于蚀刻液PH值过低或CL含量过高所形成的。

铜的外表发黑，蚀刻不动。

蚀刻液中NH4CL的含量过低所形成的。